声明
1 绪论
1.1 引言
1.2 微型泵分类
1.2.1 压电驱动
1.2.2 热致驱动
1.2.3 静电力驱动
1.3 磁流体驱动国内外现状
1.4 主要研究内容与创新点
1.4.1 主要研究内容
1.4.2 本论文创新点
1.5 本章小结
2 驱动原理及仿真分析
2.1 磁流体
2.2 磁流体驱动原理
2.3 驱动腔室的现有结构设计
2.4 通道内流体流场仿真分析
2.4.1 fluent仿真
2.4.2 流体仿真步骤
2.4.3 用有限元法求解通道内的流场
2.4.4 仿真分析
2.5 本章小结
3 驱动腔室设计加工及制作
3.1 磁流体微泵流路结构设计
3.2 泵体材料选择与加工
3.3 PMMA键合条件改进
3.3.1 PMMA基片的制备
3.3.2 PMMA材料的键合
3.3.3 键合强度的测量
3.3.4 正交试验设计
3.3.5 PMMA键合工艺参数的优化分析
3.4 泵腔键合封装
3.4.1 隔膜材料选择与制作
3.4.2 单侧腔室键合
3.4.3 腔室封装
3.5 本章小结
4 外部磁场设计与制作
4.1 磁场选择
4.1.1 电磁铁
4.1.2 永磁铁
4.2 外部磁场控制系统的研制
4.2.1 电路主要模块选择
4.2.2 软件程序设计
4.2.3 硬件电路设计与制作
4.3 本章小结
5 微泵性能验证与测试
5.1 驱动装置搭建与运行
5.2 微泵流速测试
5.3 微泵背压测试
5.4 本章小结
6 总结与展望
6.1 全文总结
6.2 研究展望
致谢
参考文献
附录
个人简历、在学期间发表的学术论文及取得的研究成果
重庆理工大学;