声明
摘要
第1章 绪论
1.1 引言
1.2 压电泵的研究现状
1.2.1 压电泵的分类
1.2.2 压电泵的国外研究现状
1.2.3 压电泵的国内研究现状
1.3 压电泵的应用与发展
1.3.1 压电泵在医疗领域的应用
1.3.2 压电泵在燃料电池领域的应用
1.3.3 压电泵在CPU芯片液体冷却系统中的应用
1.4 本文的研究意义与主要工作
第2章 谐振型压电泵的整体设计
2.1 压电振子的设计与原理
2.1.1 长梁式压电振子的设计与原理
2.1.2 折叠式压电振子的设计与原理
2.2 单向阀的设计与原理
2.2.1 两端固支的PDMS单向阀的设计与原理
2.2.2 两端固支的PDMS单向阀的静态特性
2.3 可压缩腔的设计与原理
2.3.1 可压缩腔的设计与原理
2.3.2 可压缩腔的等效电路参数
2.4 本章小结
第3章 谐振型压电泵的试验研究
3.1 长梁式压电泵的试验研究
3.1.1 长梁式压电泵的结构
3.1.2 样机的性能测试
3.2 折叠式压电泵的试验研究
3.2.1 折叠式压电泵的结构
3.2.2 样机的性能测试
3.3 本章小结
第4章 总结与展望
4.1 研究结论
4.2 研究展望
参考文献
致谢
在读期间发表的学术论文与取得的其他研究成果