电镀金刚石线锯参数化表征与晶体切片工艺研究

目录

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摘要

第1章绪论

1．1课题研究背景及意义

1．2晶体切片技术研究现状

1．2．1晶体材料的发展

1．2．2固结磨料线锯技术

1．3金刚石线锯建模研究现状

1．3．2金刚石线锯几何模型

1．4锯切理论研究现状

1．4．1锯切机理

1．4．2锯切力

1．5锯切工艺研究现状

1．5．1锯切进给方式

1．5．2锯切工艺参数

1．6本文的主要研究内容

第2章电镀金刚石线锯的参数化表征

2．1引言

2．2镀层的参数化表征

2．2．1磨粒镀镍层的表征

2．2．2线锯电镀层的表征

2．3磨粒的参数化表征

2．3．1磨粒粒度的表征

2．3．2切削刃形状及刻划方向的表征

2．3．3磨粒位置的表征

2．4线锯成品相关参数的表征

2．5本章小结

第3章线锯锯切力的研究

3．1引言

3．2单磨粒刻划过程的受力分析

3．2．1脆性材料的刻划加工模型

3．2．2单磨粒刻划力的分析

3．3线锯锯切力的计算

3．3．1磨粒刻划压入深度的分析

3．3．2线锯锯切力的分析

3．3．3线锯锯切力的数值计算

3．4本章小结

第4章晶体切片工艺研究

4．1引言

4．2．1单颗磨粒去除材料的截面积

4．2．2线锯去除材料的体积

4．2．3材料去除截面积与锯切力的关系

4．2．4线锯进给与材料去除体积

4．3锯切工艺参数的研究

4．3．1线锯挠度的分析

4．3．2线锯强度的分析

4．3．3锯切接触长度的影响因素

4．3．4线锯直径的分析

4．4本章小结

第5章电镀金刚石线锯锯切试验

5．1引言

5．2恒力进给式锯切试验装置

5．3材料去除率试验

5．4线锯使用性能评价试验

5．5本章小结

总结与展望

参考文献

攻读学位期间发表的论文、参与课题

致谢