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第一章绪论
第二章二维平面光栅位移测量的基本理论
第三章二维平面光栅测量系统分析与设计
3.1系统结构组成
3.2莫尔条纹信号分析
3.3光栅定位对莫尔条纹的影响
3.4光路设计
3.5激光光源分析
3.6信号检测系统设计
3.7系统实验
3.8小结
第四章二维平面光栅测量系统信号处理技术
第五章二维平面光栅测量系统精度实验
第六章总结和展望
参考文献
攻读博士学位期间发表的论文
夏豪杰;
合肥工业大学;
信号细分; 误差分析; 光栅测量; 二维光栅; 精密测量;
机译:绝对电容式光栅位移测量系统,具有高精度和远程
机译:消耗型电导率温度深度测量系统关键技术研究
机译:新型大型二维平面工件非接触式平面度测量系统
机译:高精度光纤布拉格光栅解调系统关键技术研究
机译:使用镜面反射光技术对深亚微米和纳米结构光栅进行高精度,高速测量。
机译:基于隧道磁阻效应的高精度加速度测量系统
机译:基于旋转平台的角度分辨光谱测量系统及其关键技术研究
机译:低温高精度折射测量系统(CHaRms):近期工作的回顾。
机译:具有轴对称二维平面光栅的多重对准阵列的具有平面光栅膜的液晶显示器
机译:编码器类型的测量系统,光刻设备和用于检测编码器类型的测量系统或网格或衍射光栅上的网格或光栅的误差的方法
机译:用同心圆光栅的莫尔条纹测量二维平面位移的方法和装置
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