基于光阑法的变口径离子束去除特性研究

目录

摘要

1绪论

1．1研究背景及意义

1．2国内外发展状况

1．3论文主要研究内容

2离子束去除理论与仿真

2．1离子束去除机理以及去除函数模型

2．2不同基底材料去除分析

2．2．1熔石英玻璃特性

2．2．2 K9玻璃特性

2．2．3微晶玻璃特性

2．2．4溅射产额的仿真分析

2．3本章小结

3光阑法变口径离子束实现的仿真分析

3．1法拉第杯测量离子束束径分布

3．1．1法拉第杯原理

3．1．2法拉第杯扫描实验

3．2光阑法变口径离子束仿真分析

3．3光阑结构的设计

3．4本章小结

4离子束去除稳定性分析

4．1基于法拉第杯扫描稳定性分析

4．2刻蚀稳定性分析

4．3本章小结

5基于光阑法变口径离子束去除特性分析

5．1光阑法离子源法拉第杯扫描实验

5．2光阑法变口径离子束刻蚀实验

5．2．1熔石英光阑法变121径离子束刻蚀实验

5．2．2 K9光阑法变口径离子束刻蚀实验

5．2．3微晶玻璃光阑法变口径离子柬刻蚀实验

5．3光阑法变口径离子束等量去除的实现

5．4抛光实验

5．5本章小结

6总结与展望

6．1总结

6．2展望

参考文献

攻读硕士学位期间发表的论文及成果

致谢

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