声明
致谢
摘要
第一章 绪论
1.1 研究目的和意义
1.2 纳米测量技术简介
1.3 微纳米三坐标测量机测头的研究进展
1.3.1 微纳米兰坐标测量机测头要求和分类
1.3.2 接触式测头研究进展
1.3.3 非接触式测头研究进展
1.3.4 其他新型潜头研究进展
1.3.5 总结
1.4 课题来源及本文主要研究内容
1.4.1 课题来源
1.4.2 本文主要研究内容
第二章 三维谐振触发测头工作机理
2.1 介观尺度测球-试样间主要界面力
2.1.1 范德华力
2.1.2 毛细力
2.2 三维谐振触发测头力学模型构建
2.2.1 X(Y)向力学模型
2.2.2 Z向力学模型
2.3 界面作用力对测头运动的影响分析及MATLAB仿真
2.4 本章小结
第三章 三维谐振触发测头及其特性测试
3.1 一体式光纤微探球的制备
3.1.1 实验原理及装置
3.1.2 光纤拉锥
3.1.3 基于田口法的二级烧制
3.2 基于石英音叉的三维谐振触发测头
3.2.1 石英音叉等效电路
3.2.2 测头结构及工作原理
3.2.3 测头特性测试
3.3 基于PVDF的三维谐振触发测头
3.3.1 测头结构及工作原理
3.3.2 PVDF薄膜尺寸参数对测头特性的影响
3.3.3 测头特性澍试
3.4 基于双端音叉的三维谐振触发测头
3.4.1 双端音叉简介
3.4.2 双端音叉三维谐振触发探头系统
3.5 本章小结
第四章 三维谐振触发测量实验系统构建
4.1 基于石英音叉的三维谐振触发测量与定位系统
4.1.1 系统实现原理
4.1.2 系统机械结构设计
4.1.3 硬件电路设计
4.1.4 三维纳米定位系统及控制方式
4.2 基于PVDF的三维谐振触发测量与定位系统
4.2.1 系统实现原理
4.2.2 硬件电路
4.3 系统控制软件设计
4.3.1 采集卡测试程序设计及调试
4.3.2 微动台测试程序设计及调试
4.3.3 自动逼近程序设计
4.3.4 双向接近曲线测试程序设计
4.3.5 圆周接近曲线测试程序设计
4.3.6 触发测量程序设计
4.4 本章小结
第五章 三维谐振触发测量与定位系统特性测试
5.1 系统特性测试
5.1.1 双向接近曲线测试及程序改进
5.1.2 圆周接近曲线测试及程序改进
5.2 三维谐振触发测头等效直径定向标定
5.2.1 标定原理及方案设计
5.2.2 标定测试程序设计
5.2.3 等效直径标定涓试
5.3 石英音叉系统三维触发测量
5.3.1 振幅反馈模式触发测量
5.3.2 相位反馈模式触发测量
5.4 本章小结
第六章 总结与展望
6.1 研究总结
6.1.1 研究成果总结
6.1.2 本文主要创新点
6.2 工作展望
参考文献
攻读博士学位期间的学术活动及成果情况