闭式静压导轨运动直线度模型和调控技术研究

目录

主要符号表

1 绪论

1.1 课题来源

1.2 课题的研究背景与意义

1.3 国内外发展研究现状

1.3.1 超精密加工技术的发展研究现状

1.3.2 超精密铣磨床的发展研究现状

1.3.3 静压导轨的发展研究现状

1.4 本文的主要研究内容及章节安排

2 四对置油垫静压导轨的精度模型及误差影响因素分析

2.1 四对置油垫静压导轨的精度模型

2.1.1 单油垫导轨的精度模型

2.1.2 四对置油垫导轨的静力学分析

2.1.3 平衡方程建立及几何误差求解

2.2 四对置油垫静压导轨的直线度误差影响因素分析

2.2.1 轮廓误差参数对误差均化效应的影响

2.2.2 不同参数下滑块位移对直线度误差的影响

2.3 本章小结

3 四对置油垫静压导轨的性能仿真分析

3.1 有限元分析仿真的理论基础

3.2 静压油膜的流体仿真分析

3.2.1 油膜流体几何模型

3.2.2 六油腔油膜网格划分

3.2.3 六油腔油膜压力分布分析

3.3 静压导轨的有限元仿真分析

3.3.1 四对置油垫静压导轨有限元模型的建立

3.3.2 不同厚度压板的导轨静变形仿真分析

3.3.3 导轨压板变形仿真结果分析

3.4 本章小结

4 四对置油垫静压导轨直线度试验及调控方案

4.1 四对置油垫静压导轨直线度测量及分析

4.1.1 试验台直线度测量原理

4.1.2 直线度误差测量试验

4.2 静压导轨垂直直线度调控方案及试验设计

4.2.1 垂直直线度调控方案

4.2.2 垂直直线度调控试验设计

4.3 本章小结

5 结论与展望

5.1 结论

5.2 展望

致谢

参考文献

攻读学位期间主要研究成果