双紫外掩膜大尺度成型及监测系统研究

目录

声明

1 绪论

1.1 选题背景及研究意义

1.2 面成型光固化技术国内外发展现状

1.3 本文研究内容及课题来源

2 双紫外掩膜成型关键技术分析

2.1 双紫外掩膜成型机理

2.2 双紫外掩膜成型光学系统分析

2.3 双紫外臭氧掩膜成型监测需求分析

2.4 本章小结

3 大尺度面成型LED阵列光源研究

3.1 紫外LED基本特性

3.2 紫外LED光学理论

3.3 LED阵列光源参数优化

3.4 本章小结

4 双紫外掩膜成型多参数监测系统研究

4.1 总体方案设计

4.2 微控制器最小系统

4.3 系统电源电路

4.4 各功能模块选型及连接电路

4.5 监测系统程序设计

4.6 监测系统搭建与测试

4.7 本章小结

5 大尺寸复杂零件光固化原型制造

5.1 复杂零件光固化原型应用

5.2 复杂薄壁壳体结构分析

5.3 光固化原型制造

5.4 本章小结

6结论与展望

6.1 结论

6.2 展望

致谢

参考文献

附录