针对液晶面板行业固化炉改造与参数监控系统研究

目录

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第一章 绪论

1.1 TFT-LCD概述

1.1.1TFT-LCD发展历程及应用现状

1.1.2TFT-LCD发展存在的问题

1.1.3TFT-LCD制程概述

1.2课题来源及研究背景

1.3国内外研究现状

1.3.1TFT-LCD制造系统的研究现状

1.3.2固化炉控制系统国内外研究现状

1.3.3TFT-LCD行业发展策略

1.4本文主要研究内容及意义

1.4.1研究内容

1.4.2研究意义

1.5本文组织结构

第二章 固化炉异物形成机理及其调控关键技术

2.1 TFT-LCD制作过程的异物概述

2.2 CF段异物的产生机理和良率的影响因素

2.2.1 CF段异物的产生机理

2.2.2 CF段异物的良率影响因素

2.3固化炉异物常规监控反馈机制

2.3.1新型异物监控系统概述

2.3.2Oven固化炉凝结物监控机制

2.3.3 Oven 固化炉改造前凝结物的管控方式

2.4异物监控反馈机制调控的关键技术

2.4.1 FDC 功能概述

2.4.2FDC监控异物功能实现

2.5本章小结

第三章 监控系统结构与实现

3.1监控系统结构方案及设计

3.1.1 Oven 炉参数监控系统方案需求分析

3.1.2参数监控系统方案设计

3.2 监控系统各模块设计

3.2.1 数据获取的设计

3.2.2 数据处理的设计

3.2.3 设计预定规则

3.2.4 数据管控的设计

3.2.5状态监测

3.2.6 数据分析

3.3 参数监控系统的验证

3.4液晶面板行业固化炉温度场模型

3.4.1问题描述

3.4.2建模和控制

3.5 本章小结

第四章 固化炉参数监控效果分析

4.1固化炉炉温建模方法

4.2排气管温度与缺陷数量的关系

4.3监控参数对良率的影响

4.3.1监控参数改善前后良率的变化

4.3.2 CF段设备清洁度对比

4.4 本章小结

第五章 结论与展望

5.1 结论

5.2展望

参考文献

致 谢