磨料有序化排布油石超精研磨结构化表面的若干问题研究

目录

声明

第1 章绪 论

1.1 课题的背景及意义

1.2 国内外研究现状

1.2.1 超精研结构化表面的研究现状

1.2.2 珩磨结构化表面的研究现状

1.2.3 油石的有序化制造

1.3.1 课题的来源

1.3.2 课题研究的意义

1.4 课题研究的主要内容概述

第2 章超精研结构化表面的运动仿真

2.1.1 建立油石磨粒叶序排布方程

2.1.2 磨粒轮廓点位置方程

2.1.3 磨粒叶序排布油石运动轨迹方程

2.2.1 轨迹重合的条件

2.2.2 轨迹均匀分布

2.2.3 网纹夹角

2.3.1 均等网纹轨迹仿真策略

2.3.2 初始条件

2.3.3 仿真结果与分析

2.4 本章小结

第3 章工程化油石的设计与制造

3.1 油石的设计

3.1.1 油石基体的设计

3.1.2 排布参数的确定

3.2 有序化排布掩膜的制备

3.2.1 掩膜的功能及性能要求

3.2.2 有序化排布掩膜的选取

3.2.3 有序化排布掩膜的制备

3.2.4 曝光过程中的故障分析

3.3.1 电镀原理

3.3.2 磨料的选择

3.3.3 电镀液的选择

3.3.4 光亮镀液配方对电镀结果产生影响的分析

3.4 有序化排布油石的电镀工艺

3.4.1 电镀前准备工作

3.4.2 电镀过程中的上砂方法

3.4.3 掩膜孔尺寸对基体上砂效果的影响

3.4.4 电镀工艺过程

3.5 电镀质量的检测

3.5.1 电镀镍层的要求

3.5.2 电镀镍层性能测试

3.6 粘贴油石

3.7 本章小结

第4 章 超精研结构化表面的实验研究

4.1.1 粗糙度轮廓仪

4.1.2 实验方案与条件

4.2 超精研结构化表面实验结果与分析

4.2.1 磨粒有序化排布油石超精研结构化表面的结果与分析

4.3 油石磨粒缺陷分析

（1）镍层脱落

（2）磨粒脱落

4.4 网纹表面缺陷分析

（1）网纹缺失

（2）网纹深浅不一致

（3）毛刺使网纹交叉处堵塞

（4）网纹沟痕边缘有毛刺

4.5 本章小结

结论

参考文献

攻读硕士学位期间发表的论文和获得的科研成果

致谢