声明
摘要
第1章绪论
1.1课题背景及实际意义
1.2脱碳退火炉气氛控制系统的重要性
1.3本文的主要工作
2.1 PID控制原理
2.1.1开环控制系统与闭环控制系统
2.1.2阶跃响应
2.1.3 PID控制原理和特点
2.1.4参数整定
2.2露点检测技术原理
2.3气体含量分析技术原理
2.4气体流量检测原理
2.5本章小结
第3章脱碳退火炉简介
3.1脱碳退火炉工艺流程
3.2脱碳退火炉各炉段功能说明
3.2.1 RTF炉段
3.2.2均热炉、电加热炉炉段
3.2.3空气管冷却段ATC
3.2.4慢速喷射冷却、快速喷射冷却
3.2.5空气喷射冷却
3.3本章小结
第4章气氛控制系统硬件、软件设计和实现
4.1脱碳退火炉气氛控制系统生产工艺分析和控制功能要求
4.1.1混合站控制系统
4.1.2加湿器控制系统
4.1.3炉压控制系统
4.1.4露点分析控制系统
4.1.5气体分析控制系统
4.2脱碳退火气氛控制系统总体设计
4.3控制系统的硬件设计
4.3.1主控制柜(PLC柜)的配置
4.3.2现场远程输入输出远程IO柜的配置
4.4控制系统的软件设计
4.4.1控制功能的构成
4.4.2气氛控制系统的软件设计和实现
4.5实际运用中的故障难点和解决方法
4.5.1管路压力喘震引起流量检测值不准
4.5.2工艺流量使用很小时,压力控制波动
4.6本章小结
5.1结论
5.2展望
致谢
参考文献
东北大学;