柔性钛酸锶钡薄膜制备及其电卡制冷和湿度传感器件

目录

声明

1 绪论

1.1 引言

1.2 铁电材料特性及其应用

1.2.1 铁电材料铁电性

1.2.2 无铅铁电材料

1.2.3 铁电材料在电卡制冷领域的应用

1.2.4 铁电材料在湿度传感领域的应用

1.3 柔性电子器件发展现状与挑战

1.3.1 柔性电子器件概述

1.3.2 柔性电卡制冷器件发展现状与挑战

1.3.3 柔性湿度传感器件发展现状与挑战

1.4 课题的目的和意义

2 材料与器件制备及表征方法

2.1 衬底的选择与制备

2.2 材料与器件制备

2.2.1 溶胶凝胶法

2.2.2 磁控溅射法

2.3 材料形貌与结构表征

2.3.1 相结构表征

2.3.2 形貌表征

2.3.3 表面分析

2.4 材料与器件的性能测试方法

2.4.1 介电性能测试

2.4.2 铁电性能测试

2.4.3 电卡性能测试

2.4.4 湿度传感测试

3 无铅BST电卡制冷器件的设计与性能

3.1 材料与器件制备

3.1.1 底电极制备

3.1.2 功能层制备

3.1.3 顶电极制备

3.2 材料的结构表征

3.2.1 BST 薄膜XRD 表征

3.2.2 BST 薄膜AFM表征

3.2.3 BST 薄膜SEM表征

3.3 材料与器件的性能表征

3.3.1 不同退火温度对BST铁电性影响

3.3.2 二次退火对BST 漏电流影响

3.3.3 BST 介电特性

3.3.4 水平状态下器件电卡性能

3.3.5 弯曲状态下器件电卡性能

3.3.6 器件的疲劳特性

3.4 本章小结

4 无铅BST湿度传感器件的设计与性能

4.1 无铅BST湿度传感器件制备

4.2 材料的结构表征

4.2.1 BST 薄膜AFM表征

4.2.2 BST 薄膜SEM表征

4.2.3 BST 薄膜XPS 表征

4.3 器件的传感性能表征

4.3.1 水平状态湿度传感性能

4.3.2 弯曲状态湿度传感性能

4.3.3 温度对湿度传感影响

4.3.4 湿度传感器响应时间

4.3.5 湿度传感器疲劳特性

4.4 本章小结

5 结论与展望

5.1 结论

5.2 展望

致谢

参考文献

附录