基于SON结构的气压传感器的集成设计

目录

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第一章 绪 论

1.1研究背景与意义

1.1.1 压力传感器的发展

1.1.2 压力传感器的分类

1.2 MEMS压力传感器国内外研究现状

1.2.1 MEMS电容式绝对压力传感器

1.2.2 MEMS差压传感器

1.2.3 集成压力传感器

1.3 SON结构在气压传感器上的应用

1.4论文主要研究内容

第二章 绝对压力/差压集成传感器设计与分析

2.1 绝对压力传感器

2.1.1 基本结构

2.1.2 工作原理

2.1.3 绝对压力传感器的结构分析和优化

2.2差压传感器

2.2.1 基本结构

2.2.2 工作原理

2.2.3 气体阻尼

2.2.4 性能分析

2.1.4 差压传感器的结构分析和优化

2.3 本章小结

第三章 绝对压力/差压集成传感器的数值模拟

3.1 绝对压力传感器的数值模拟

3.1.1 静力分析

3.2 差压传感器的数值模拟

3.2.1 流固耦合数值模拟原理

3.2.2 模拟计算

3.2.3模拟结果与分析

3.3 本章小结

第四章 绝对压力/差压集成传感器的工艺设计与制作

4.1 掩膜版图设计

4.2绝对压力/差压集成传感器芯片制作工艺

4.3 关键工艺讨论

4.3.1 阳极键合（Bonding）

4.3.3 真空高温退火

4.4 本章小结

第五章 绝对压力/差压集成传感器的测试

5.1 绝对压力传感器测试

5.1.1 测试系统

5.1.2 测试结果及分析

5.2 差压传感器测试

5.2.1 测试系统

5.2.2 测试结果及分析

5.3 本章小结

第六章 总结与展望

6.1 总结

6.2 展望

参考文献

致谢

攻读硕士学位期间研究成果