激光通信系统中多波段滤光片的研究

摘要

本课题研制的滤光片主要应用于激光通信系统中。针对激光通信系统中光学系统对滤光片的特殊要求，选取Ti3O5和SiO2分别作为高低折射率薄膜材料，在直径φ25mm的K9玻璃基底材料上，通过膜系设计软件TFCalc进行双面设计。在镀制过程中，采用电子束加热蒸发方式，配合离子辅助淀积技术，利用石英晶控控制法对膜层厚度进行监控，通过反复优化各项工艺参数，制备出在532nm透过率为97.6％、808nm透过率为0.3%、1064nm透过率为97.8%、1550nm透过率为97.8%的多波段滤光片。在研究过程中，通过修正Tooling Factor解决了光谱曲线向短波漂移的问题；通过去除残余蒸镀量，解决了通带出现波纹的问题。通过各项测试证明，该滤光片满足光学系统的使用要求。

目录

声明

第一章 绪论

1.1现代光学薄膜的发展现状

1.2激光通信的发展现状

1.3论文研究的主要内容

第二章 光学薄膜的基本理论

2.1光学薄膜特性的理论计算

2.2有效界面法

2.3高反射带带宽的计算

第三章 多波段滤光片的工艺参数研究及膜系设计

3.1激光通信系统中多波段滤光片的技术要求

3.2镀膜材料的选取

3.3工艺参数的研究

3.4薄膜材料的折射率和Tooling Factor

3.5多波段滤光片的膜系设计

第四章 薄膜沉积设备

4.1真空镀膜设备

4.2 真空系统

4.3蒸发技术

4.4监控技术

4.5测试技术

第五章 多波段滤光片的制备与检测分析

5.1多波段滤光片的制备工艺流程

5.2实验过程中遇到的问题与解决方法

5.3激光通信系统中多波段滤光片的测试

5.4 环境测试

结论

致谢

参考文献

附录