有序多孔TiO2-AAO复合薄膜的光学、介电特性研究

目录

声明

1 绪论

1.1 TiO2的结构

1.2 TiO2-MOx复合薄膜的制备

1.2.1 磁控溅射沉积

1.2.2 化学气相沉积

1.2.3 凝胶旋涂法

1.3 TiO2-MOx复合薄膜的应用

1.3.1 光催化剂

1.3.2 光敏剂染料

1.3.3 介电材料

1.4 TiO2薄膜改性

1.5 选题背景及主要研究内容

2 样品制备与表征

2.1 复合薄膜样品的制备方法

2.1.1 二次阳极氧化法制备AAO 基底模板

2.1.2 磁控溅射沉积技术

2.1.3 等离子处理改性

2.1.4 高温处理

2.2 复合薄膜样品的表征设备

2.2.1 物相测试表征设备

2.2.2 光学特性表征设备

2.2.3 介电特性表征设备

2.3 小结

3 有序多孔TiO2-AAO复合薄膜的制备及光学性能分析

3.1 引言

3.2 有序多孔TiO2-AAO 复合薄膜的制备

3.3 有序多孔TiO2-AAO 复合薄膜的性能分析

3.3.1 有序多孔TiO2-AAO 复合薄膜的形貌表征

3.3.2 有序多孔TiO2-AAO 复合薄膜的结构分析

3.3.3 有序多孔TiO2-AAO 复合薄膜的物相表征

3.3.4 有序多孔TiO2-AAO 复合薄膜的光学特性分析

3.4 小结

4 有序多孔TiO2-AAO复合薄膜的介电性能分析

4.1 引言

4.2 介电材料制备

4.2.2 有序多孔TiO2-AAO 复合薄膜器件制备

4.3 参数测量

4.3.1 有序多孔TiO2-AAO 复合薄膜XRD 表征

4.3.2 有序多孔TiO2-AAO 复合薄膜形貌表征

4.3.3 有序多孔TiO2-AAO 复合薄膜器件I-V 特性表征

4.3.4 有序多孔TiO2-AAO 复合薄膜介电特性表征

4.3.5 有序多孔TiO2-AAO 复合薄膜电滞回线分析

4.3.6 有序多孔TiO2-AAO 复合薄膜储能密度分析

4.4 小结

5 总结

5.1 结论

5.2 工作创新点

5.3 展望

参考文献

致谢

攻读硕士学位期间取得的科研成果