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目录
第一章 绪论
1.1 FMCS系统概述
1.2 节能型功率电子器件用抛光片产业化项目FMCS系统简介
1.3 FMCS控制系统所遇到的难题
第二章 FMCS系统控制原理
2.1 FMCS控制系统控制原理
2.2 FMCS控制系统控制范围
第三章 PLC控制原理与实现
3.1 PLC控制系统概述
3.2 PLC 的应用现状
3.3 PLC 控制系统的特点
3.4 控制点表
3.5 PLC的选取及介绍
3.6 PLC的硬件配置
3.7 PLC电气控制柜制作
3.8 PLC 设计与实现
3.9 PLC联机调试
第四章 上位机系统的设计与实现
4.1上位机系统概述
4.2上位机自控管理系统的应用
4.3 IFIX软件介绍
4.4 IFIX3.5系统要求
4.5 IFIX技术优势
4.6 IFIX上位机系统设计
4.7系统最终界面设计
4.8 IHISTORIAN数据库软件介绍
4.9 IFIX系统操作要求
第五章 结论与展望
致谢
参考文献
附录1:I/O点表目录
附录2:PLC主程序
电子科技大学;