声明
主要符号对照表
第1章 绪 论
1.1研究背景及意义
1.2硬质合金刀具加工的研究现状
1.3 化学机械抛光的研究现状
1.4本课题的来源
1.5研究内容及章节安排
第2章 钨钴类硬质合金刀具化学机械抛光的化学反应机理研究
2.1引言
2.2 钨钴类硬质合金的金相组成及化学状态分析
2.3 钨钴类硬质合金材料的腐蚀机理
2.4 抛光液的pH值对钨钴类硬质合金刀具CMP抛光的影响
2.5硬质合金刀具化学机械抛光的化学反应机理
2.6本章小结
第3章 抛光垫和磨粒特性对钨钴类硬质合金刀具化学机械抛光影响规律研究
3.1引言
3.2钨钴类硬质合金刀具的材料特性
3.3实验方案
3.4抛光垫特性对钨钴类硬质合金刀具化学机械抛光的影响
3.5磨粒特性对钨钴类硬质合金刀具化学机械抛光的影响
3.6本章小结
第4章 钨钴类硬质合金刀具化学机械抛光的材料去除机理研究
4.1引言
4.2钨钴类硬质合金刀具-磨粒-抛光垫接触模型
4.3材料去除率模型的建立
4.4表面粗糙度模型的建立
4.5本章小结
第5章 基于NSGA-Ⅱ的工艺参数多目标优化
5.1 NSGA-Ⅱ算法
5.2钨钴类硬质合金刀具化学机械抛光工艺参数多目标优化
5.3实验及结果分析
5.4本章小结
结论与展望
1结论
2展望
参考文献
致谢
附录A 攻读学位期间所发表的学术论文目录
附录B 攻读学位期间所参加的科研项目
附录C 攻读学位期间所获得的国家专利
附录D 攻读学位期间所获得的软件著作权
