精密片式薄膜固定电阻器的研究与制备

摘要

精密片式薄膜固定电阻器是一种应用广泛的通用电子元件，尤其在需要高稳定性、高可靠性的航天、航空、国防以及在电子计算机、通讯仪器、电子交换机中应用较多。外资企业几年前就已经开始批量生产，我国台湾企业也是从前两年开始量产，但大陆目前只有极个别的厂家能够生产此类产品。本文的研究课题就是在这种背景下提出并着手研究的。
　　本文主要采用双离子束溅射法制备固定电阻器用薄膜材料，并通过热处理、激光调阻、端涂、电镀等工序，最后制备出符合要求的精密片式薄膜固定电阻器。
　　为制备出性能优良的精密片式薄膜固定电阻器，本文分两部分展开了研究。第一部分是电阻薄膜材料制备工艺与性能研究，重点研究低温度系数电阻薄膜的制备方法。从陶瓷基片表面粗糙度和洁净度、衬底温度、溅射功率、溅射时间和热处理温度对薄膜性能的影响等着手，通过对多种工艺因素的反复实验，最终制备出电阻温度系数小于10 ppm/℃的电阻膜层。
　　在第二部分“薄膜电阻的高精度研究”中，通过对“优化蛇形切割以提高薄膜产品调阻合格率”和“激光调阻工序中影响产品精度的因素”两方面的深入分析，在实际工作中严格控制“人”、“机”、“料”、“法”、“环”五个关键节点，最终成功地制备出精度达±0.01％的精密片式薄膜固定电阻器。

目录

封面

声明

中文摘要

英文摘要

目录

第一章 绪论

1.1 引言

1.2 国内外片式薄膜固定电阻器研究现状

1.3 片式薄膜固定电阻器的市场前景

1.4 本课题研究的主要内容、目的和意义

第二章 片式薄膜固定电阻器的理论基础

2.1 关于薄膜

2.2 片式电阻器理论基础

第三章 电阻薄膜制备工艺与性能研究

3.1 引言

3.2 电阻薄膜的制备方法

3.3 电阻薄膜性能研究

3.4 本章小结

第四章 薄膜电阻的高精度研究

4.1 引言

4.2 优化蛇形切割以提高薄膜产品调阻合格率

4.3 激光调阻工序中影响产品精度的因素

4.4 本章小结

第五章 总结和未来工作设想

致谢

参考文献