LTCC集成数控YIG振荡器基础技术研究

摘要

YIG（钇铁石榴石）单晶小球振荡器是基于材料的铁磁共振特性而制备的一类微波铁氧体器件，具有宽带、线性、高Q、可调谐、低相位噪声等特点，已经成为雷达与电子对抗、高档精密仪器等必不可少的关键器件。传统的YIG振荡器体积大、靠人工单件制作，为解决YIG振荡器小型化与批量化制作的瓶颈问题，本论文将YIG振荡器技术与LTCC（低温共烧陶瓷）技术相结合，采用LTCC多层集成工艺，研究将 YIG小球嵌入LTCC的振荡电路基板、实现谐振及振荡电路的一体化平面化集成基础技术。
　　本文采用高Q值YIG小球谐振子，建立等效电路模型，通过微波仿真软件优对YIG谐振耦合结构以及振荡电路、低噪声设计、磁路设计等方面进行了设计优化；通过LTCC工艺依据优化的设计参数与结构进行了设计并制作出了LTCC集成YIG振荡器样品；配合驱动电路的制作与控制软件的开发以及调试补偿，完整实现了LTCC集成数控振荡器的样品制备，实现了基本的器件性能，测试结果与设计目标基本一致，验证了所提出的技术研究方案的可行性。

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第一章 概述

1.1研究意义

1.2振荡器及LTCC概述

1.3 YIG单晶数控调谐振荡器的国内外发展现状

1.4 LTCC技术简介及国内外发展现状

1.5 论文研究目标

1.6 论文的主要内容

第二章 基于LTCC工艺的YIG振荡器设计

2.1 引语

2.2 YIG振荡器的设计

2. 3磁场仿真设计

2.4 器件的低相位噪声分析与设计

2.5 微波LTCC腔体结构设计及制作

第三章 集成数控YIG振荡器的LTCC制作工艺研究

3.1 YIG振荡器的LTCC制备工艺研究

3.2LTCC腔体多层基板制作

3.3 LTCC集成YIG振荡器制作

第四章 数字驱动控制程序的设计与实现

4.1 数字驱动器原理

第五章 LTCC集成YIG振荡器组件的调试及补偿

5.1 YIG振荡器组件的特性

5.3 YIG振荡器组件的补偿原理和方式

5.4 YIG振荡器组件的补偿过程

第六章 实验结果

6.1 实验条件

6.2测试结果与分析

第七章 结论

致谢

参考文献