封面
声明
中文摘要
英文摘要
目录
1 绪 论
1.1研究目的与研究背景
1.2 国内外研究现状
1.3 本论文的主要工作
2 激光光束质量测量方案原理
2.1 高斯光束的基本特性
2.2 激光光束参数的测量
2.3 M2因子及其测量方法
2.4 激光光路矫正的方法
2.5 激光光束光斑中心及半径测量方法
2.6 本章小结
3 基于ARM平台的激光光束质量测量系统设计
3.1 系统硬件设计
3.2 软件系统设计
3.3 本章小结
4 实验结果对比与误差分析
4.1 光路矫正结果对比
4.2 M2因子测量精度对比
4.3 误差分析
4.4 本章小结
5 总结与展望
5.1 全文总结
5.2 研究展望
致谢
参考文献
附录