声明
1 绪论
1.1 低温等离子体与微电子工业
1.2 原子层刻蚀的关键问题及其解决方法
1.3 电子束驱动的低温等离子体源的研究进展
1.3.1 电子束驱动的低温等离子体源简介
1.3.2 电子束驱动的低温等离子体源的研究内容
1.3.3 电子束驱动的低温等离子体源的研究方法
1.3.4 电子束驱动的低温等离子体源的研究进展
1.4 本文研究的主要内容与拟解决的问题
2 PIC/MCC模型
2.1 概述
2.2 显格式PIC算法
2.2.1 电荷分配
2.2.2 解场方程
2.2.3 求外电路
2.2.4 粒子推动
2.2.5 时间和空间步长的约束条件
2.3 隐格式PIC算法
2.4 MCC模型
2.4.1 伪碰撞方法
2.4.2 电子-分子碰撞
2.4.3 离子-分子碰撞
2.5 收敛测试
2.6 本章小结
3 电子束驱动纯氩气等离子体放电特性的模拟
3.1 引言
3.2 模型与参数
3.3 电子束的电流对氩气放电特性的调制
3.4 电子束的能量对氩气放电特性的调制
3.5 放电工作气压对氩气放电特性的调制
3.6 离子通量和电极表面的离子能量分布
3.7 本章小结
4 电子束注入对射频容性耦合等离子体的调制
4.1 引言
4.2 模型与参数
4.3 调制等离子体密度和电子温度
4.4 调制电子的能量分布
4.5 调制电子通量和离子通量
4.6 本章小结
5 电子束与直流源联合驱动氩气放电特性的模拟
5.1 引言
5.2 模型与参数
5.3 电子束从阴极驱动氩气放电
5.3.1 放电特性
5.3.2 电子束能量对放电特性的调制
5.3.3 电子束电流对放电特性的调制
5.4 电子束从接地极驱动氩气放电
5.4.1 放电特性
5.4.2 电子束能量对放电特性的调制
5.4.3 电子束电流对放电特性的调制
5.5 从阴极/接地极驱动放电的对比
5.6 本章小结
6 全文总结与工作展望
6.1 本文工作总结
6.2 下一步工作展望
致谢
参考文献
附录1 攻读硕士学位期间发表的主要论文
