高动态运动平台全局耦合建模与特性分析及控制研究
GLOBAL COUPLED MODELING,CHARACTERISTIC ANALYZING AND CONTROLOF HIGH DYNAMIC MOTION STAGE
摘 要
Abstract
目 录
Contents
第1章 绪论
1.1 课题研究背景与意义
1.2 面向芯片封装的高动态运动平台概述
1.3 高动态运动平台全局耦合建模方法研究现状
1.4 高动态运动平台控制研究现状
1.5 本文主要研究内容
第2章 高动态运动平台全局耦合建模
2.1 高动态运动平台基本结构
2.2 键合图基本理论
2.3 高动态运动平台电气元件键合图模型
2.4 非线性摩擦键合图模型
2.5 机械结构键合图模型
2.6 高动态运动平台键合图模型
2.7 本章小结
第3章 高动态运动平台特性分析
3.1 运动平台全局耦合仿真模型及特性分析
3.2 驱动器特性分析
3.3 电机相关参数特性分析
3.4 位移检测分辨率特性分析
3.5 机械相关参数特性分析
3.6 摩擦特性分析
3.7 特性分析总结
3.8 本章小结
第4章 时间距离约束下非对称S速度规划
4.1 速度曲线特性分析
4.2 时间距离约束下非对称S运动轨迹生成方法
4.3 非对称S曲线实现时的约束问题
4.4 非对称S曲线仿真分析
4.5 本章小结
第5章 高动态运动平台控制器设计
5.1 高动态运动平台控制特点及结构
5.2 鲁棒H∞控制方法
5.3 前馈零相位误差跟踪(ZPETC)控制
5.4 摩擦补偿方法
5.5 高动态运动平台控制算法仿真分析
5.6 本章小结
第6章 高动态运动平台实验研究
6.1 高动态运动平台实验系统组成
6.2 高动态运动平台模型辨识
6.3 轨迹规划实验
6.4 控制算法验证
6.5 本章小结
结 论
参考文献
攻读博士学位期间所发表的学术论文
哈尔滨工业大学学位论文原创性说明及使用授权说明
致 谢
个人简历