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第一章绪论
1.1长位型等离子体简介
1.2微等离子体简介
1.3本论文的主要工作
第二章低气压低频长位型冷等离子体实验研究
2.1实验方法
2.2长位型等离子体探针诊断研究
2.3长位型等离子体光谱诊断
2.4类二氧化硅薄膜沉积研究
2.5本章小结
第三章低气压低频长位型冷等离子体数值模拟
3.1模拟方法介绍
3.2模拟结果
3.3本章小结
第四章大气压可弯曲结构微射流冷等离子体
4.1大气压微射流冷等离子体简介
4.2大气压可弯曲结构微射流冷等离子体实验研究
4.3本章小结
第五章大气压长位型射流冷等离子体
5.1研究背景介绍
5.2大气压长位型射流冷等离子体实验研究
5.3长位型射流等离子体应用于表面改性研究
5.4本章小结
第六章总结与展望
6.1本论文内容总结
6.2前景展望
参考文献
致谢
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