封面
声明
中文摘要
英文摘要
目录
符号说明
1 绪论
1.1 微机电系统(MEMS)的概述
1.2 MEMS的国内外研究现状
1.3 MEMS微驱动器
1.4 课题的意义及论文的研究内容
2 微型环建模
2.1 引言
2.2 微型环系统数学建模
2.3 微型环系统的自然特性
3 单点移动力作用下微型环的特性分析
3.1 引言
3.2 单点移动的简谐力作用
3.3 单点移动的力作用
3.4 小结
4 静电力作用下微型环运动方程的推导
4.1 引言
4.2 单点移动的静电力作用
4.3 单点固定的静电力作用
4.4 小结
5 单点移动静电力作用下微型环的特性分析
5.1 引言
5.2 系统的动态特性分析
5.3 系统的稳定性分析
5.4 小结
6 总结与展望
6.1 总结
6.2 未来展望
参考文献
致谢
附录1 攻读学位期间发表的学术论文目录
版权声明