声明
摘要
第一章 引言
1.1 几种典型金属氚化物的3He释放行为
1.2 含氚化物器件的自然损耗分析
1.3 解决金属氚化物中3He释放问题的可能途径
1.3.1 新材料的研制
1.3.2 新工艺的开发
1.4 本论文研究方向的提出
第二章 材料、设备及实验方法
2.1 实验材料
2.1.1 金属材料
2.1.2 气体
2.2 磁控溅射镀膜机
2.3 气固反应系统
2.3.1 系统构成
2.3.3 反应器
2.4 实验方法
2.4.1 块状样品的表面处理
2.4.2 样品真空除气
2.4.3 吸放氘实验
2.5 表征手段
2.5.1 X射线衍射分析(XRD)
2.5.2 X射线光电子谱仪(XPS)
2.5.3 扫描电镜(SEM)
2.5.4 四极质谱仪(QMS)
第三章 Ti、Zr、Sc表面钝化层的真空热稳定性研究
3.1 实验方法
3.2 Ti表面钝化层的XPS分析
3.2.1 热处理前
3.2.2 热处理中
3.2.3 热处理后
3.3 Zr表面钝化层的XPS分析
3.3.1 热处理前
3.3.2 热处理中
3.3.3 热处理后
3.4 Sc表面钝化层的XPS分析
3.4.1 热处理前
3.4.2 热处理中
3.4.3 热处理后
3.5 讨论
3.5.1 Ti、Zr、Sc表面钝化层的消失机制探讨
3.5.2 表面状态对吸氘(氕)性能的影响
3.6 小结
第四章 Ti、Zr、Sc片的初次吸氘性能研究
4.1 Ti片
4.1.1 活化条件
4.1.2 初次吸氘动力学特征
4.1.3 初次吸氘动力学机制
4.1.4 相结构表征
4.2 Zr片
4.2.1 活化条件
4.2.2 初次吸氘动力学特征
4.2.3 初次吸氘动力学机制
4.2.4 相结构表征
4.3 Sc片
4.3.1 活化条件
4.3.2 初次吸氘动力学特征
4.3.3 初次吸氘动力学机制
4.3.4 相结构表征
4.4 讨论
4.4.1 粉化程度
4.4.2 室温吸氘
4.5 小结
第五章 Ti、Zr、Sc粉的吸氘热力学及吸氘动力学性能研究
5.1 实验方法
5.2 吸氘热力学性能
5.2.1 Ti粉
5.2.2 Zr粉
5.2.3 Sc粉
5.3 氘化物形成焓的理论计算
5.3.1 理论计算方法
5.3.2 结果与讨论
5.4 吸氘动力学性能
5.4.1 Ti粉
5.4.2 Zr粉
5.4.3 Sc粉
5.5 小结
第六章 Ti、Zr、Sc膜的制备及室温吸氘性能研究
6.1 Ti、Zr、Sc膜的制备与表征
6.1.1 制备
6.1.2 表征
6.2 Ti、Zr、Sc膜的室温吸氘性能
6.2.1 Ti膜
6.2.2 Zr膜
6.2.3 Sc膜
6.3 Ti、Zr、Sc膜室温吸氘产物的相结构表征
6.4 小结
第七章 钯氘化物与Ti、Zr、Sc间的氘传输行为研究
7.1 实验方法
7.2 钯氘化物的室温放氘动力学性能
7.2.1 成分及微观结构分析
7.2.2 Pd的活化
7.2.3 放氘的动力学性质
7.2.4 放氘的动力学机制
7.3 钯氘化物与Ti之间的氘传输行为
7.3.1 钯氘化物与Ti粉之间
7.3.2 钯氘化物与Ti膜之间
7.4 钯氘化物与Zr之间的氘传输行为
7.4.1 钯氘化物与Zr粉之间
7.4.2 钯氘化物与Zr膜之间
7.5 钯氘化物与Sc之间的氘传输行为
7.5.1 钯氘化物与Sc粉之间
7.5.2 钯氘化物与Sc膜之间
7.6 Pd-M(M=Ti,Zr,Sc)杂化储氘体系的设计初探
7.7 小结
第八章 结论、创新点与展望
8.1 结论
8.2 创新点
8.3 展望
致谢
参考文献
攻读博士学位期间发表的论文情况
攻读博士学位期间参加的学术会议情况