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第一章 绪论
1.1引言
1.2金刚石的主要性质及其应用
1.3金刚石生长机理
1.3.1化学反应动力学
1.3.2基本表面及气相化学反应
1.3.3原子氢(H)的作用
第二章 金刚石薄膜的制备及表征方法
2.1目前金刚石薄膜主要的制备方法
2.1.1热丝法CVD(hot filament CVD)
2.1.2微波等离子体辅助CVD(microwave plasma-assisted CVD)
2.1.3射频等离子体辅助CVD(RF plasma-assisted CVD)
2.1.4离子体辅助CVD
2.1.5离子速谐振微波辅助CVD(ECR-MP-CVD)
2.1.6燃烧火焰辅助CVD(combustion flame-assisted CVD)
2.1.7小结
2.2 CVD金刚石薄膜的表征方法
2.2.1拉曼光谱
2.2.2 X射线衍射光谱
2.2.3扫描电子显微镜
2.2.4.高分辨透射电子显微镜(HRTEM)
2.2.5俄歇电子能谱(AES)和X射线光电子谱(XPS)
2.2.6表面粗糙度测量及微观力学测量
2.2.7讨论
第三章用HFCVD法在钛基底上沉积掺硼金刚石薄膜
3.1钛的基本性质
3.2实验装置
3.3影响金刚石薄膜生长的主要因素
3.3.1工作气体的选择
3.3.2灯丝选择与碳化
3.3.3衬底材料的选择
3.3.4衬底预处理
3.3.5真空反应室的密封
3.4金刚石膜的制备
3.4.1灯丝的碳化
3.4.2衬底基片的预处理
3.4.3掺硼
3.4.4抽真空
3.4.5金刚石形核
3.4.6金刚石膜沉积过程
3.5所得金刚石薄膜的物理特性
3.5.1金刚石薄膜在金相显微镜下的形貌
3.5.2金刚石薄膜的表面微观结构表征
3.5.3金刚石薄膜的Raman光谱图
3.5.4金刚石薄膜的XRD图
3.5.5掺杂硼含量及导电性
3.6小结
第四章 金刚石薄膜电极电化学特性及其检测
4.1电极的制作
4.1.1金刚石膜电极的电化学特性
4.1.2金刚石膜电极的氧化优点
4.1.3电极制备
4.2金刚石膜电极的电化学性质研究方法
4.2.1循环伏安法
4.2.2交流阻抗法
4.3金刚石薄膜电化学特性实验
4.3.1实验原理
4.3.2实验仪器和试剂
4.3.3实验装置及实验过程
4.4结果与讨论
4.5加速寿命测试
4.6污水处理测试
4.6.1实验准备
4.6.2结果分析
第五章 总结
参考文献
攻读硕士期间发表的论文及参与的科研项目
致谢