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第一章绪论
第二章工程陶瓷超精密加工技术及表面质量研究状况评述
2.1工程陶瓷的发展与研究状况
2.2超精密加工技术的研究状况
2.2.1超精密加工机床的发展概况
2.2.2微进给机构和驱动电源
2.2.3金刚石工具的研究概况
2.2.4超精密测试技术研究状况
2.2.5加工机理的研究状况
2.2.6超精密加工环境控制技术的研究
2.3 工程陶瓷磨削表面质量的研究
2.4研究课题的提出
第三章工程陶瓷超精密磨削机理
3.1压痕断裂力学法
3.1.1工程陶瓷压痕应力场分析
3.1.2微断裂几何学
3.1.3 工程陶瓷磨削应力场分析
3.1.4陶瓷等硬脆材料超精密磨削过程中脆性/延性转变的临界条件
3.2陶瓷材料去除机理线性断裂力学解析
3.2.1线性断裂力学概念
3.2.2分析方法
3.3陶瓷材料去除机理的有限元分析
3.3.1二维磨削有限元模型
3.3.2数值计算结果
3.3.3分析与讨论
3.4本章小结
第四章超精密加工关键工艺装备的研制
4.1微进给工作台的研制
4.1.1电致伸缩陶瓷致动器的特性
4.1.2微进给工作台的结构设计及计算
4.2驱动电源的设计
4.2.1设计要求
4.2.2设计思路
4.2.3驱动电源性能测试
4.2.4微进给工作台的特性测试实验
4.3细粒度金刚石砂轮的研制
4.3.1金刚石砂轮概述
4.3.2细颗粒金刚石砂轮的制造工艺
4.3.3金刚石砂轮的整形与修锐
4.4本章小结
第五章工程陶瓷延性域磨削实验
5.1陶瓷材料表面去除过程中脆性/延性转换的实验研究
5.1.1实验装置与方法
5.1.2磨粒尺寸对磨削过程中脆性/延性材料去除机理转变的影响
5.1.3磨削参数对脆性/延性机理转变的影响
5.1.4 工程陶瓷延性域磨削时的微观结构
5.2 工程陶瓷超精密磨削力实验
5.2.1金刚石砂轮端面磨削实验
5.2.2金刚石砂轮往复式平面磨削实验
5.3细粒度铸铁结合剂金刚石砂轮的超精密磨削实验
5.3.1电解修整电源的研制
5.3.2电解磨削液的研制
5.3.3阴极及阴极托架
5.3.4 ELID镜面磨削实验
第六章工程陶瓷超精密磨削表面质量的研究
6.1工程陶瓷超精密加工表面的几何形貌和表面粗糙度
6.2表面残余应力的实验研究
6.2.1表面残余应力产生机理及检测方法
6.2.2 X射线衍射法
6.2.3残余应力测试参数与计算方法
6.2.4实验条件及测试结果
6.2.5相变应力对残余应力的影响
6.3陶瓷超精密磨削表面的硬度测定
6.4超精密磨削表面结构的研究
6.4.1加工表面结构特性的实验研究
6.4.2表面层晶粒度与晶格变形的实验研究
6.4.3工程陶瓷超精密磨削表面变质层的结构模型
6.5 小结
第七章全文总结
参考文献
致谢
附录1
附录2
