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第一章 绪论
第一节 位相光栅型激光限幅器
第二节 微结构表面形貌测量技术概述
第三节 位相测量技术的发展和意义
第四节 本论文的主要研究内容
第二章 光栅衍射理论
第一节 光栅衍射理论概述
第二节 标量衍射理论
2.2.1 惠更斯-菲涅耳原理与基尔霍夫衍射
2.2.2 菲涅耳衍射和夫琅禾费衍射
第三节 衍射的角谱理论
2.3.1 角谱的传播
2.3.2 衍射屏对角谱的效应
第四节光 栅的基本原理
2.4.1 光栅的透射函数
2.4.2 光栅方程
第五节 透射式位相光栅衍射效率的计算
第三章 透射式位相光栅的位相测量
第一节 位相测量概述
第二节 位相测量原理
3.2.1 干涉的基本原理
3.2.2 傅里叶变换法
3.2.3 傅里叶变换法的数值实现
3.2.4 位相解包裹
3.2.5 光栅表面形貌的测量和计算
第三节 位相干涉测量系统
3.3.1 测量系统的构成
3.3.2 测量系统的调试
第四节 实验数据处理
3.4.1 干涉图采集与傅里叶变换
3.4.2 频域滤波与逆傅里叶变换
3.4.3 位相解包裹
第五节 实验结果讨论与分析
3.5.1 实验结果分析
3.5.2 测量系统分辨率
3.5.3 误差分析
第四章 透射式位相光栅光学性能的测量
第一节 衍射角
4.1.1 衍射角的计算
4.1.2 衍射角的测量
4.1.3 实验结果讨论及误差分析
第二节 衍射效率
4.2.1 衍射效率的定义
4.2.2 衍射效率的测量
4.2.3 实验结果讨论及误差分析
第五章 位相光栅型激光限幅器模型的光学性能测量
第一节 位相光栅衬底材料的选择
第二节 非线性介质的选择
第三节 位相光栅型激光限幅器模型及测量系统
第四节 光学性能测量
5.4.1 弱光条件下的光学性能
5.4.2 强光条件下的光学性能
第五节 实验结果分析与讨论
第六章 总结和展望
第一节 本文总结
第二节 展望
参考文献
致 谢
个人简历