摘要
Abstract
目录
第一章 绪论
1.1 薄膜技术的发展及应用
1.2 薄膜参数的测试方法
1.3 国内外相关仪器系统研究
1.4 研究的意义与本文的内容
第二章 反射光谱法的介绍
2.1 反射光谱法的原理
2.1.1 单层薄膜的反射特性
2.1.2 双层薄膜的反射特性
2.1.3 反射光谱法测量原理
2.2 测量装置
2.3 主要优点
第三章 极值法与复合形法求解薄膜常数和厚度的应用研究
3.1 极值法求解单层光学薄膜常数和厚度
3.2 极值法求解双层光学薄膜厚度
3.3 复合形法求解薄膜的光学常数
3.3.1 复合形法的数学思想描述
3.3.2 极小化目标函数(评价函数)的建立
3.3.3 约束条件的建立
3.3.4 计算机的求解程序图及部分参数的选择
3.3.5 计算结果与分析
3.3.6 小结
3.4 软件的人机交互界面
第四章 光学薄膜反射率测量系统的设计与测试结果
4.1 系统的原理
4.2 光源的选择
4.2.1 光源的选择要求
4.2.2 常用光源的介绍
4.2.3 本系统选用光源的研究
4.3 光纤和透镜的选择
4.3.1 选择要求
4.3.2 本系统需用的光纤与透镜的研究
4.4 分光光度计的选择
4.4.1 分光光度计选择要求
4.4.2 常用分光光度计的介绍
4.4.3 本实验所用的分光光度计的研究
4.5 测试的结果
4.5.1 本实验所用膜片的说明与标准测试
4.5.2 应用本系统得到的测试结果
4.5.3 测试结果分析
4.6 反射率曲线的平滑处理方法
第五章 总结
致谢
个人简历
硕士期间发表的论文