FeCoSiB非晶磁弹性薄膜材料及应用研究

摘要

FeCoSiB薄膜由于具有优良的磁弹性能而受到了人们的广泛关注.本文针对FeCoSiB薄膜材料的应力敏感特性,从理论和实验上研究了FeCoSiB薄膜材料的应力阻抗效应,并研究了FeCoSiB薄膜在磁场可调平面薄膜电感中的应用.理论上,本文从Landau-Lifshitz-Gilbert方程和Maxwell方程出发,推导了磁弹性薄膜在外加应力下高频有效磁导率和阻抗的表达式,计算了不同参数如膜厚、残余应力、磁各向异性、饱和磁化强度对薄膜应力阻抗效应的影响.实验上,采用DC磁控溅射法制备了FeCoSiB单层和FeCoSiB/Cu/FeCoSiB多层薄膜,并对薄膜进行磁场热处理,研究了不同工艺条件对薄膜应力阻抗效应的影响.本文还制备了

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文摘

英文文摘

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第一章前言

1.1研究目的、意义

1.2国内外研究进展

1.2.1材料特性研究

1.2.2器件应用研究

1.3选题依据与研究内容

1.3.1选题依据

1.3.2研究内容

第二章FeCoSiB薄膜应力阻抗效应模拟

2.1应力阻抗效应的理论分析

2.1.1等效场的确定

2.1.2高频有效磁导率的求解

2.2应力阻抗效应的计算

2.3.小结

第三章FeCoSiB单层和FeCoSiB/Cu/FeCoSiB多层薄膜应力阻抗性能研究

3.1实验

3.1.1 FeCoSiB薄膜的制备

3.1.2 FeCoSiB薄膜磁场热处理

3.1.3 FeCoSiB薄膜图形化的设计

3.1.4应力阻抗效应的测试方法

3.2研究结果与讨论

3.2.1溅射气压对FeCoSiB薄膜成分和应力阻抗效应的影响

3.2.2磁场热处理对FeCoSiB薄膜性能的影响

3.2.3膜厚对薄膜应力阻抗效应的影响

3.2.4测试频率对薄膜应力阻抗效应的影响

3.3小结

第四章可调平面薄膜电感制备及测试分析

4.1可调平面薄膜电感的设计

4.2可调电感的制备

4.3可调平面薄膜电感的测试分析

4.3.1测试方法

4.3.2测试结果与讨论

4.3.3测试频率对电感的影响

4.4小结

第五章结论

参考文献

致谢