文摘
英文文摘
论文说明:图表索引
声明
第1章 引言
1.1概述
1.2中子检测技术的基础:中子源
1.3多层膜中子光学元件的发展与应用(一)—多层膜单色器
1.4多层膜中子光学元件的发展与应用(二)—超反射镜
1.5小结
第2章 中子多层膜工作原理
2.1中子与物质的相互作用——中子折射率
2.2中子在理想多层膜中的反射
2.3中子在非理想表(界)面多层膜系中的反射
2.4小结
第3章 中子多层膜单色器和超反射镜设计
3.1中子多层膜膜层材料选取
3.2中子多层膜单色器的设计
3.3中子超反射镜设计
3.4小结
第4章 中子周期多层膜和超反射镜的制备
4.1引言
4.2溅射原理及磁控溅射设备简介
4.3中子多层膜制备工艺参数的确定
4.4中子多层膜膜层沉积速率的精确定标
4.5拓展多层膜沉积均匀区域方法研究
4.6基板的表面粗糙度对Ni/Ti多层膜的影响
4.7小结
第5章 中子周期多层膜和超反射镜的检测
5.1引言
5.2中子周期多层膜和超反射镜的结构测试
5.3中子周期多层膜和超反射镜反射特性的测试
5.4小结
第6章 全文总结
6.1主要研究成果
6.2论文主要创新点
6.3需要进一步解决的问题
参考文献
致谢
作者简介及发表论文