圆盘型非接触压电微马达的相关理论与试验研究

摘要

本文基于接触式压电马达的这些问题，提出了一种新型的以空气为媒介的圆盘型非接触式压电微马达。主要研究基于行波驱动的圆盘型非接触压电微马达。有关的研究内容主要包括如下几个方面：（1）对国内外压电马达的研究情况的综述。（2）非接触式压电微马达的驱动机理分析。（3）马达定子的振动分析。通过有限元方法主要对单一压电陶瓷及压电陶瓷与金属弹性体复合体进行振动分析。分析了圆盘型压电马达定子的内外径的尺寸对定子固有频率的影响，然后对圆盘形陶瓷进行了谐响应分析。分析了定子内外径、压电陶瓷厚度和所施加的电压对定子表面振幅的影响，最后根据上面的基础，计算出了实验中所用的马达定子的各阶振型的振动模态和固有频率。（4）样机的研制及试验。试制了圆盘型非接触压电微马达，并且对其进行了振动测试和转速特性测试。