摘要
1 绪论
1.1 研究背景及意义
1.2 光学疵病的标准及危害
1.2.1 国家标准《光学零件表面疵病》
1.2.2 国际标准ISO10110-7表面疵病公差
1.2.3 光学疵病的危害
1.3 疵病检测方法国内外研究现状
1.3.1 成像法
1.3.2 散射能量分析法
1.3.3 检测方法现状分析与选择
1.4 本文的主要研究内容
1.4.1 研究工作的主要内容
1.4.2 研究工作重点
1.5 小结
2 系统设计理论
2.1 积分散射理论
2.2 微弱光信号检测理论
2.2.1 光电探测器中的噪声
2.2.2 微弱光信号检测方法
2.3 光源调制理论
2.3.1 连续波调制
2.3.2 脉冲调制
2.3.3 编码调制
2.4 积分球工作原理
2.5 小结
3 系统总体方案设计
3.1 总体方案设计
3.1.1 测量方式
3.1.2 测量装置结构和原理
3.2 照明光路设计
3.2.1 激光器
3.2.2 斩波器
3.2.3 分束镜
3.3 散射光能量收集系统
3.4 信号采集处理系统
3.4.1 光电倍增管
3.4.2 光电倍增管分压器
3.4.3 前置放大器
3.4.4 锁相放大器
3.4.5 数据采集卡
3.5 小结
4 系统软件设计
4.1 软件虚拟仪器LABVIEW
4.1.1 虚拟仪器概念
4.1.2 虚拟仪器基本结构及原理
4.1.3 LABVIEW的作用
4.2 LABVIEW程序设计
4.2.1 板卡初始化模块
4.2.2 PMT增益调节模块
4.2.3 信号采集处理模块
4.3 小结
5 测量数据及误差分析
5.1 实验平台搭建
5.2 前置放大器仿真测试
5.3 信号采集程序验证
5.4 基准光照度测量
5.5 镜头疵病检测
5.5.1 疵病阈值算法
5.5.2 疵病测量数据分析
5.6 误差分析
5.7 小结
6 结论与展望
6.1 结论
6.2 课题展望
参考文献
攻读硕士学位期间发表的论文
致谢
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