封面
声明
中文摘要
英文摘要
目录
符号说明
第一章 绪 论
1.1 研究背景
1.2 相关工作及国内外研究现状
1.3 主要工作和章节安排
第二章 电容式压力传感器件的制备和分析
2.1 电容式压力传感器的组成材料
2.2 电容式压力传感器件的制备工艺
2.3 测试方法
2.4 实验结果与分析讨论
2.5 本章小结
第三章 薄膜晶体管的工作机理与性能分析
3.1 结构及工作原理
3.2 电学性能参数
3.3 接触电阻对器件性能的影响
3.4 低电压溶液法氧化物薄膜晶体管技术
3.5 本章小结
第四章 基于薄膜晶体管的压力传感器件的集成
4.1 引言
4.2 集成结构以及工作原理
4.3 工艺集成方法
4.4 结果与讨论
4.5 本章小结
第五章 工作总结与展望
5.1 工作总结
5.2 工作展望
参考文献
致谢
学术论文和科研成果目录