摘要
Abstract
第一章 引言
1.1 背景
1.2 EBIT工作原理
1.3 论文框架简介
第二章 上海EBIT光谱学实验平台
2.1 Mcpherson NOVA 225型真空紫外单色仪简介
2.2 平焦场谱仪简介
2.2.1 变栅距光栅
2.2.2 从光程函数出发设计变栅距光栅的过程
2.2.3 上海EBIT平焦场谱仪及控制系统简介
第三章 光学模拟软件简介
3.1 光学设计软件ZEMAX简介
3.2 光学设计软件BRAY简介
第四章 上海EBIT光谱仪器的模拟及调试
4.1 Mcpherson NOVA 225型真空紫外单色仪的超环面镜设计
4.2 平焦场谱仪的光学模拟
4.2.1 变栅距光栅刻制参数的计算
4.2.2 平焦场谱仪的光学模拟
4.3 平焦场谱仪的离线校刻
4.3.1 平焦场谱仪校刻Ⅰ
4.3.2 平焦场谱仪校刻Ⅱ
4.3.3 平焦场谱仪校刻Ⅲ
4.3.4 平焦场谱仪校刻Ⅳ
4.4 平焦场谱仪新的校刻方法
第五章 论文小结
附录
附录一 上海EBIT球面镜图纸
附录二 上海EBIT超环面镜图纸
附录三 上海EBIT超环面镜研制与检测报告
附录四 Bray程序输入文件详解
发表及投稿文章
参考文献
致谢
