摘要
Abstract
第一章 绪论
1.1 引言
1.2 准分子紫外光源
1.2.1 准分子
1.2.2 准分子的形成过程
1.2.3 准分子的产生方法
1.2.4 准分子光源的优点及应用
1.3 准分子光源的最新进展
1.3.1 稀有气体双原子准分子光源
1.3.2 稀有气体-卤素准分子光源
1.4 本论文主要研究内容
第二章 纳秒脉冲电源驱动准分子灯的实验研究
2.1 引言
2.2 氯化氪准分子的形成过程
2.3 实验测量方法
2.4 实验装置
2.4.1 氯化氪准分子灯
2.4.2 纳秒脉冲电源
2.4.3 实验架构
2.5 实验结果
2.5.1 激励类型
2.5.2 电源极性
2.5.3 电压幅值
2.5.4 脉冲频率
2.6 实验结果分析
第三章 准分子光源的电路模型研究
3.1 介质阻挡放电
3.2 准分子灯的电路模型
3.2.1 正弦电压驱动
3.2.2 单向脉冲电源驱动
3.3 能量分析
3.4 电路模型的意义与局限
第四章 准分子光源的数学模型研究
4.1 引言
4.2 模型理论
4.2.1 玻尔兹曼方程
4.2.2 玻尔兹曼方程的矩
4.2.3 近似处理
4.2.4 边界条件
4.2.5 考虑的反应粒子及相关输运系数
4.3 模拟结果
4.3.1 模型尺寸及计算方法
4.3.2 正弦电压驱动的模拟结果
4.3.3 脉冲电压驱动的模拟结果
4.3.4 小结与讨论
第五章 全文总结
致谢
参考文献
