目录
摘要
Abstract
第一章 绪论
1.1 硅应用简介
1.2 硅纳米晶的光致发光简介
1.3 硅纳米晶的电致发光简介
第二章 镶嵌在SiO_2介质中的纳米晶硅的制备和表征
2.1 制备硅纳米晶的各种方法
2.2 热蒸发SiO和电子束蒸发Si、SiO_2制备硅纳米晶
2.3 硅纳米晶的表征
第三章 通过CO_2激光预退火调制硅纳米晶的光致发光
3.1 关于激光预退火
3.2 激光预退火在石英衬底样品上的应用
3.3 激光预退火在P型Si衬底样品上的应用
3.4 SiO_2夹层的引进及其作用
3.5 小结
第四章 镶嵌在SiO_2介质中的硅纳米晶的电致发光研究
4.1 硅纳米晶电致发光的结构
4.2 硅纳米晶电致发光的测试
4.3 硅纳米晶电致发光所需真空度的确定
4.4 SiO/Si多层结构的确立
4.5 激光预退火的点密度与多层纳晶硅发光的关系
4.5.1 激光预退火的点密度与多层纳晶硅光致发光的关系
4.5.2 激光预退火的点密度与多层纳晶硅电致发光的关系
4.6 激光预退火的功率控制与多层纳晶硅发光的关系
4.6.1 激光预退火的功率控制与多层纳晶硅光致发光的关系
4.6.2 激光预退火的功率控制与多层纳晶硅电致发光的关系
4.7 小结
第五章 总结与展望
参考文献
硕士期间发表论文
致谢
