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目录
第1章 绪论
1.1课题来源及研究背景
1.2国内外研究现状
1.3主要研究内容与技术路线
第2章 ASM2D模型组分的测定与分析
2.1模型组分的划分
2.2 ASM2D模型组分的测定原理
2.3 ASM2D模型组分的测定方法
2.4 ASM2D模型组分的测定结果与分析
第3章ASM2D模型参数的测定与分析
3.1化学计量学参数
3.2动力学参数
3.3化学计量学参数的测定方法
3.4动力学参数的测定方法
3.5 ASM2D模型参数的测定结果与分析
3.6本章小结
第4章 基于ASM2D模型对改良型氧化沟工艺的模拟与优化
4.1研究对象简介
4.2工艺模拟过程
4.3工艺优化过程
4.4 本章小结
第5章总结、问题与建议
5.1总结
5.2问题与建议
致谢
参考文献
附录