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目录
1 绪论
1.1研究背景及意义
1.2面曝光快速成形技术概述
1.3面曝光快速成形技术国内外研究现状
1.4关于面曝光制件变形的国内外研究现状
1.5树脂粘附问题国内外研究
1.6 论文研究思路和主要内容
2二氧化硅纳米小球的制备工艺研究
2.1制备工艺路线
2.2制备方法
2.3 二氧化硅小球合成因素分析
2.4本章小结
3单层二氧化硅小球掩蔽膜的制备
3.1制备工艺路线
3.2自组装单层胶体晶体的制备
3.3本章小结
4树脂槽基底亚波长抗反射结构转移刻蚀
4.1 工艺路线
4.2准周期亚波长结构刻蚀工艺试验研究
4.3表面纳米结构特征对透光性的影响
4.4本章小结
5 功能膜层防粘附性试验研究
5.1实验方法
5.2基底功能膜层表征
5.3研究固化树脂层受力
5.4粘附力测试研究
5.5打印制件
5.6本章小结
6 结论与展望
6.1结论
6.2展望
致谢
参考文献
攻读硕士期间发表的论文及科研成果