声明
摘要
1 绪论
1.1 课题来源
1.2 研究的背景及意义
1.3.1 传统清洗技术的研究综述
1.3.2 超声干式清洗的研究综述
1.3.3 空腔流激振荡的研究综述
1.3.4 微粒粘附的研究综述
1.4 本文研究内容
2 超声干式清洗系统及清洗机理
2.1 超声干式清洗系统
2.1.1 空气循环系统
2.1.2 超声清洗头
2.1.3 基板传送系统
2.2 超声干式清洗机理
2.2.1 空腔流激振荡发声机理
2.2.2 超声干式清洗区的边界层特性
2.3 本章小结
3 超声干式清洗区表面粘附微粒的动力学模型
3.1 表面粘附微粒的受力模型
3.1.1 重力
3.1.2 粘附力
3.1.3 曳力
3.1.4 举力
3.1.5 声辐射力
3.2 表面粘附微粒的再悬浮模型
3.3 本章小结
4 表面粘附微粒再悬浮的影响因素研究
4.1 控制方程及初始条件
4.2.1 重力力矩
4.2.2 粘附力力矩
4.2.3 曳力力矩
4.2.4 举力力矩
4.2.5 声辐射力力矩
4.3 微粒再悬浮的影响因素分析
4.3.1 微粒半径对微粒再悬浮的影响
4.3.2 气流平均速度对微粒再悬浮的影响
4.3.3 微粒再悬浮的控制
4.4 本章小结
5 变截面空气流道内空腔流激振荡发声的仿真研究
5.1.2 声比拟(FW-H)方程
5.2 计算模型和边界条件
5.3.1 空腔流激振荡的流线型
5.3.2 空腔流激振荡的速度和压强分布
5.3.3 变截面空气流道出口的气流速度
5.3.4 空腔流激振荡的声学特性
5.3.5 空腔流激振荡的瞬时涡量
5.4 流道出口气流速度的影响因素分析
5.4.1 入口气流速度对出口气流速度的影响
5.4.2 空腔长深比对出口气流速度的影响
5.4.3 空腔组数对出口气流速度的影响
5.5 空腔流激振荡声学特性的影响因素分析
5.5.2 空腔长深比对腔内声学特性的影响
5.5.3 空腔组数对腔内声学特性的影响
5.5.4 空腔腔形对腔内声学特性的影响
5.6 本章小结
6.1 结论
6.2 展望
参考文献
攻读硕士学位期间发表的论文及所取得的研究成果
致谢