声明
摘要
1.1 研究背景及意义
1.2 国内外研究现状
1.2.1 测量方法研究现状
1.2.2 静电传感器分类及特点
1.3 静电法在实际应用中遇到的问题
1.4 课题研究内容及章节安排
2 静电传感器的基础理论
2.1 静电感应原理
2.2 静电传感器结构及原理分析
2.2.1 静电传感器结构
2.2.2 静电传感器原理
2.2.3 静电传感器等效电路
2.3 静电传感器空间灵敏度
2.4 本章小结
3 环式静电传感器空间灵敏度特性的仿真分析
3.1 静电传感器有限元法
3.1.1 Maxwell软件介绍
3.1.2 有限元法基本思想
3.1.3 静电场有限元法
3.2 环式静电传感器仿真研究
3.3 环式静电传感器空间灵敏度特性仿真分析
3.3.1 轴向径向空间位置的空间灵敏度特性
3.3.2 电极宽度的空间灵敏度特性
3.4 本章小结
4 环式静电传感器空间灵敏度的优化研究
4.1 优化设计概述
4.1.1 优化设计目的及意义
4.1.2 优化设计方法
4.2 环式静电传感器空间灵敏度优化模型的建立
4.3 多颗粒空间灵敏度特性分析
4.3.1 多颗粒空间灵敏度模型建立
4.3.2 多颗粒空间灵敏度特性分析
4.4 环式静电传感器动态灵敏度特性
4.5 本章小结
5 模拟实验研究
5.1 实验平台的搭建
5.2 系统设备
5.3 数据采集与处理
5.3.1 数据采集与分析
5.3.2 实验验证分析
5.4 实验结果分析
5.5 本章小结
6 总结与展望
参考文献
攻读硕士期间发表的论文及所取得的研究成果
致谢