文摘
英文文摘
独创声明及学位论文版权使用授权书
绪论
§1.1引言
§1.2薄膜生长过程
§1.3初始成核理论
§1.4岛在表面迁移及熟化过程
§1.5合并与渗析
§1.6薄膜测试技术
§1.6.1扫描隧道显微镜
§1.6.2原子力显微镜
§1.6.3透射电子显微镜
§1.6.4高能电子衍射
§1.6.5 X射线反射及衍射测试技术
§1.7本文的研究内容
第二章薄膜中的分形现象和薄膜表面定量描述
§2.1随机表面的定量统计描述
§2.2自仿射分形表面及薄膜自仿射分形生长
§2.3线性生长模型
§2.4 Kardar-Parisi-Zhang生长模型
§2.5 Kuroumoto-Sivashinsky生长模型
§2.6小结
第三章薄膜生长模型与计算机模拟
§3.1薄膜生长模型的理论与方法
§3.1.1分子动力学
§3.1.2蒙特卡罗法
§3.1.3量子力学
§3.2薄膜生长模型的数值微分方法
§3.3 K-S方程数值求解及其决定的表面演化过程
§3.4小结
第四章激光溅射沉积制备的氮化镓表面形貌分析
§4.1脉冲激光技术(PLD)
§4.1.1脉冲激光技术(PLD)原理
§4.1.2脉冲激光技术(PLD)优缺点
§4.1.3影响脉冲激光沉积的因素
§4.2激光溅射沉积制备的氮化镓表面形貌分析
§4.2.1薄膜样品的制备
§4.2.2薄膜生长界面的原子力显微镜测量
§4.2.3生长界面自仿射分形结构的描述及生长模型讨论
§4.3小结
第五章总结与展望
参考文献
攻读硕士学位期间发表的文章
致谢