封面
目录
1. 引言
1.1 课题研究背景
1.2 Ti-Si-N纳米复合薄膜研究概述
1.3 晶粒尺寸与力学性能关系的研究概况
1.4 采用第一性原理和KMC方法研究的原因
1.5 研究的目的和意义1)研究的目的
1.6 课题研究方法及研究的主要内容
2. 基本理论与研究方法
2.1 第一性原理方法概述
2.2 动力学蒙特卡罗仿真(KMC)
3. TiN晶体尺寸与其力学性能的第一性原理研究
3.1 第一性原理拉伸试验的研究概况
3.2 拉伸应力的计算及计算方法的验证
3.3 参数设置和模型的建立
3.4 计算结果与讨论
3.5小结
4. Ti-Si-N表面晶粒尺寸与力学性能的KMC仿真研究
4.1 仿真方案的确定
4.2 Morse势的选择以及仿真程序实现要点
4.3 参数的设置
4.4 计算仿真结果及讨论
4.5 小结
5. 总结与展望
5.1 总结
5.2 展望
参考文献
索 引
在学的研究成果
致谢