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目录
第1章 绪论
1.1 研究背景
1.2 AFM简介
1.3 工业型AFM研究现状
1.4 显微视觉概述
1.5 本论文的主要研究内容
第2章 AFM探针自动逼近方法研究
2.1 引言
2.2 聚焦评价函数
2.3 自动逼近系统平台搭建
2.4自动逼近流程设计
2.5 实验验证
2.6 本章小结
第3章 目标位置自动逼近方法研究
3.1引言
3.2 AFM探针针尖视觉定位技术
3.3目标逼近技术研究
3.4 本章小结
第4章 AFM探针自动更换方法研究
4.1 引言
4.2 探针自动更换机构
4.3 探针自动更换流程设计
4.4 AFM光电反馈自动校准
4.5本章小结
第5章 AFM扫描控制系统搭建与实现
5.1 引言
5.2 AFM控制系统工作原理
5.3 AFM控制系统软硬件平台实现
结论
参考文献
攻读硕士学位期间发表的论文和获得的科研成果
致谢