声明
摘要
第1章绪论
1.1论文研究背景与意义
1.2镀层常规测量技术概述
1.3激光诱导击穿光谱的研究现状
1.3.1 LIBS的发展历程
1.3.2 LIBS的基础理论研究现状
1.3.3 LIBS在膜层分析应用方面的研究现状
1.4本论文的研究内容
第2章LIBS基础理论与实验系统设计
2.1激光诱导击穿光谱技术原理
2.1.1激光诱导等离子体产生机理
2.1.2定性与定量分析的基本原理
2.1.3常规LIBS实验系统
2.2 LIBS实验系统设计
2.2.1实验系统基本组成
2.2.2系统装置
2.2.3平台搭建与参数设置
2.3实验样品
2.4本章小结
第3章实验参数和有效数据的优化
3.1系统参数的优化指标
3.2小波分析算法去噪声
3.3实验参数的影响
3.3.1特征谱线的确定
3.3.2激光能量密度
3.3.3烧蚀坑的大小
3.3.4元素深度分布
3.4有效光谱数据优化
3.4.1数据的均值化处理
3.4.2归一化强度法数据处理
3.5本章小结
第4章镀层中铁含量的定量分析
4.1常用的定量分析模型
4.1.1线性标准定标模型
4.1.2内标模型
4.1.3自由定标模型
4.1.4神经网络模型
4.2定量分析的性能评价指标
4.3基于线性标准定标模型的结果分析
4.4基于内标模型的结果分析
4.5基于BP神经网络模型的结果分析
4.6本章小结
5.1全文总结
5.2本论文的创新点
5.3下一步的工作展望
参考文献
致谢
攻读硕士学位期间学术成果