声明
第一章 绪论
1.1 研究背景及意义
1.2 国内外研究现状
1.3 主要研究内容
第二章 具有常力特性的微动平台设计与优化
2.1 引言
2.2 常力微动平台结构设计
2.3 常力平台理论建模
2.4 理论模型验证
2.5 灵敏度分析
2.6 常力微动平台优化设计
2.6 实验验证
2.7 结论
第三章 基于正负刚度匹配的常力微动平台设计与分析
3.1 引言
3.2 设计原理
3.3 线性正刚度结构设计
3.4 常力微动平台设计
3.5 三种常力平台比较分析
3.6 实验验证
3.7 结论
第四章 具有多常力范围的平台设计与分析
4.1 引言
4.2 设计原理
4.3 正刚度结构设计与建模
4.4 常力不可调平台设计
4.5 常力可调平台设计
4.6 连续多行程常力平台
4.7 实验测试
4.8 结论
第五章 二维常力微动平台的设计
5.1 引言
5.2 二维常力平台结构设计
5.3 二维常力平台刚度模型
5.4 二维常力平台性能分析
5.5 实验验证
5.6 结论
第六章 结论与展望
6.1 主要工作及结论
6.2 创新点
6.3 研究展望
参考文献
致谢
攻读硕士学位期间的研究成果