基于数字散斑剪切干涉术的三维面型测试

摘要

数字散斑剪切干涉术是起源于散斑干涉且应用广泛的干涉检测方法，将数字图像处理和散斑剪切干涉术结合在一起，测量精度能达到几十纳米，可检测复杂物体的面型。
　　本文探究了基于数字散斑剪切干涉术的物体面型的三维测试技术。实验采用泰曼-格林光路系统，通过旋转反射镜的方法，使物光束散斑场发生偏转，再由CCD记录偏转前、后物光束和参考光束的干涉场。存储到计算机中，对采集到的散斑干涉图用MATLAB软件进行相减运算，得到物体面型的散斑剪切干涉条纹图。
　　应用MATLAB软件编程，对条纹图进行数字图像处理，增强条纹清晰度后，控制剪切散斑干涉图的精确定向平移，得到了4个干涉条纹图，实现了数字四步相移，得到物体面型的三维图。

目录

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摘要

第一章 绪论

1．1 散斑剪切干涉术的中外衍变情况

1．2 散斑剪切干涉术特点、目的、意义和应用

1．3 本论文的主要研究内容

第二章 散斑的整体介绍

2．1 散斑的形成

2．2 散斑的分类

2．3 散斑的特性

2．4 散斑的尺寸

2．5 散斑的对比度

2．6 散斑的计量术

2．7 本章小结

第三章 数字散斑剪切干涉术测物体面型

3．1 数字散斑剪切干涉术基本介绍

3．2 数字散斑剪切干涉术测量物体面型原理

3．3 散斑剪切干涉条纹图的获取方法

3．4 本章小结

第四章 散斑剪切干涉术的实验探究

4．1 实验要求解析

4．2 实验光路的设计和对比

4．3 实验设备的选取

4．4 实验光路的调校技能

4．5 本章小结

第五章 散斑剪切干涉术的实验结果和研究

5．1 散斑剪切干涉术测量平面物体面型

5．2 散斑剪切干涉术测量非平面物体面型

5．3 干涉条纹图后期图像处理

5．4 三维位相的获取

5．5 本章小结

第六章 结论

致谢

参考文献