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第一章综述
第二章实验方案与样品制备
2.1实验方案
2.1.1过渡层实验方案
2.1.2掺Cr类金刚石层实验方案
2.2实验设备与样品制备
2.2.1实验设备
2.2.2样品制备
2.3表征方法
2.3.1厚度分析
2.3.2显微硬度分析
2.3.3纳米硬度计分析
2.3.4附着性能分析
2.3.5摩擦磨损分析
2.3.6X射线衍射分析(XRD)
2.3.7微观结构及成分分析(EDS)
2.3.8 Raman光谱分析
2.3.9俄歇电子能谱成分深层分布分析(AES)
第三章过渡层性能、结构及工艺分析与讨论
3.1附着性能
3.1.1梯度层实验附着性能
3.1.2界面Cr层实验附着性能
3.2机械力学性能
3.2.1膜层厚度工艺正交分析
3.2.2膜层硬度工艺正交分析
3.3形貌及微观结构
3.3.1膜层SEM形貌
3.3.2膜层成分及相组成
3.4小结
第四章掺Cr类金刚石层性能、结构及工艺分析与讨论
4.1附着性能
4.1.1 CH4/Ar流量对附着性能的影响
4.1.2MF功率对附着性能的影响
4.1.3不同粗糙度基底膜层附着性能
4.2机械力学性能
4.2.1膜层厚度与复合硬度
4.2.2膜层弹性模量与纳米硬度
4.2.3膜层摩擦性能
4.3形貌及微观结构
4.3.1膜层形貌及相对成分
4.3.2膜层Raman分析
4.3.3膜层Auger分析成分深层分布
4.4小结
结论
参考文献
致谢
攻读硕士学位期间主要的研究成果