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脉冲激光沉积过程中的一个新的综合模型

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1 绪论

1.1 引言

1. 2 PLD技术发展的历史

1.3 PLD技术实验工艺

1.4 PLD技术特点

1.5 PLD技术的机理研究概况

2 PLD技术中烧蚀机理的研究概况

2.1 脉冲激光烧蚀靶材的物理图像

2.2 纳秒脉冲激光烧蚀的理论模型

2.3飞秒脉冲激光烧蚀的理论模型

2.4 小结

3 脉冲激光烧蚀的综合模型

3.1 引言

3.2 烧蚀的综合模型

3.3 激光烧蚀综合模型的差分方程

3.4 靶材温度随时间、位置的变化规律(靶材Au)

3.5 激光烧蚀阈值的理论和实验研究

3.6 小结

4 总结与展望

4.1 总结

4.2 本文的创新之处

4.3 展望

致谢

参考文献

附 录1 硕士研究生期间完成论文情况

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著录项

  • 作者

    胡德志;

  • 作者单位

    华中科技大学;

  • 授予单位 华中科技大学;
  • 学科 凝聚态物理
  • 授予学位 硕士
  • 导师姓名 张端明;
  • 年度 2006
  • 页码
  • 总页数
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 中文
  • 中图分类
  • 关键词

    脉冲激光; 沉积过程;

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