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目录
1 绪论
1.1 引言
1. 2 PLD技术发展的历史
1.3 PLD技术实验工艺
1.4 PLD技术特点
1.5 PLD技术的机理研究概况
2 PLD技术中烧蚀机理的研究概况
2.1 脉冲激光烧蚀靶材的物理图像
2.2 纳秒脉冲激光烧蚀的理论模型
2.3飞秒脉冲激光烧蚀的理论模型
2.4 小结
3 脉冲激光烧蚀的综合模型
3.1 引言
3.2 烧蚀的综合模型
3.3 激光烧蚀综合模型的差分方程
3.4 靶材温度随时间、位置的变化规律(靶材Au)
3.5 激光烧蚀阈值的理论和实验研究
3.6 小结
4 总结与展望
4.1 总结
4.2 本文的创新之处
4.3 展望
致谢
参考文献
附 录1 硕士研究生期间完成论文情况