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目录
1 引言
1.1 课题来源及背景介绍
1.2 分子自组装膜
1.3 自组装分子膜在原子层沉积技术中的应用
1.4 本文研究方法及意义
2 甲基硅烷自组装膜制备及在原子层沉积中的应用
2.1 引言
2.2 试剂与仪器
2.3 薄膜制备
2.4 自组装薄膜改性表面表征
2.5 自组装膜电化学分析孔洞表征
2.6 原子层沉积钯纳米颗粒
2.7 自组装分子膜修饰基底在钯纳米颗粒沉积实验中应用研究
2.8 本章小结
3 巯基硅氧烷自组装膜制备及在原子层沉积纳米颗粒中的应用
3.1 引言
3.2 试剂与仪器
3.3 自组装薄膜制备
3.4 自组装薄膜改性表面表征
3.5 自组装膜电化学分析孔洞表征
3.6 原子层沉积钯纳米颗粒
3.7 本章小结
4 混合自组装膜制备及在原子层沉积中的应用
4.1 引言
4.2 混合自组装膜制备
4.3 自组装膜性能表征及结果分析
4.4 混合自组装膜生长机理
4.5 模板印刷法制备混合自组装分子膜
4.6 混合自组装膜在原子层沉积纳米颗粒中应用
4.7 本章小结
5 混合自组装膜在制备分散纳米颗粒中应用
5.1 混合自组装膜在制备分散金纳米颗粒中应用
5.2 本章小结
6 总结与展望
6.1 总结
6.2 展望
致谢
参考文献
硕士期间完成论文